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UV解胶机

日期:2026-09-29 12:36:44 人气:114


落地式 UV 解胶机搭载可调 UV 照射功率系统,适配 8 寸、12 寸晶圆工艺,通过 UV 光化学反应降低 UV 膜粘性,实现晶圆高效稳定解胶脱膜,广泛应用于半导体封测、光学薄片加工等精密制造场景。

人机交互界面划分为 6 大功能区域,集成光源监测、运行日志、生产数据存储、工单扫码、通讯状态、系统参数设置等功能,方便操作人员直观监控设备运行状态、完成工艺操作。

设备主要特点:

多点位能量实时监测:P1‑P5 共 5 路照度点位实时采集,直观监控光源输出均匀性,保障整面晶圆解胶效果一致。

全流程生产数据追溯:扫码绑定 11 位工单,单片能量、工单号、配方参数自动存入后台数据库,支持按时间区间查询,可导出 Excel 报表,满足品质溯源。

智能化人机交互系统:双色运行日志区分正常信息与故障告警;斜料、叠料等常规报警无需整机复位,整理物料即可恢复生产。

三级权限管控体系:操作员、工程师、管理员分级账号,独立密码管理,工艺配方权限隔离,防止非授权误改关键参数。

便捷的设备调试维护:PLC 输入 / 输出 IO 状态可视化监控;支持气缸、伺服机构手动点动调试,便于设备点检、故障排查。

完善的安全保护设计:UV 灯通讯状态、灯体温度实时监控,温度上下限报警;开门安全联锁保护;急停保护;盖章耗材计数提醒;料层余量实时统计。

配方模块化管理:支持配方复制、新建、编辑、选定、删除,可快速切换 8 寸 / 12 寸等不同产品工艺。

安全防护:

安全联锁:设备门板开门停机保护,正常生产模式下打开防护门设备立刻停止运行;非调试场景禁止屏蔽开门停机功能。

UV光源防护:UV 紫外线会损伤眼睛与皮肤,设备整机做遮光防护;禁止在设备开盖状态开启 UV 灯。

温度保护:UV 灯实时温度监控,超出上下限自动报警,防止光源过热损坏。

急停保护:整机配置急停按钮,按下急停后切断气路、电路输出;维护检修前务必按下急停并切断总电源。

技术参数

参数可按需修改适配实际机型
| 项目 | 规格参数 |
| 光源类型 | 365nm UV‑LED 面光源 |
| 适配晶圆尺寸 | 8 寸、12 寸 |
| 照射功率 | 连续可调 
|| 控制模式 | 累积能量 / 时间双模式控制 |
| 能量监测 | P1‑P5 五点位实时照度采集 |
| 散热方式 | 风冷|
| 安全配置 | 开门安全联锁、急停保护、UV 灯温度超限报警 |
| 数据功能 | 后台数据库存储,按时间检索,Excel 导出报表 |
| 工单模式 | 11 位二维码扫码工单绑定 |
| 控制系统 | PLC + 上位机,TCP 通讯 |
| 账号权限 | 操作员 / 工程师 / 管理员三级权限 |
| 工作环境 | 环境温度 7‑45℃,相对湿度≤80%,无冷凝,避免阳光直射 |
| 供电规格 | AC220V|

|LED 灯珠寿命 |≥20000h|



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